لتھوگرافی کے سازوسامان کے لئے سلیکن کاربائڈ چکس

سلیکن کاربائڈ چک (جس کو ایس آئی سی چک ، سلیکن کاربائڈ سیرامک ​​چک ، یا غیر محفوظ سیرامک ​​ویکیوم چک بھی کہا جاتا ہے) لتھوگرافی کے سازوسامان (جیسے مرحلہ -}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} اسکین اسکینرز) کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔ یہ عام طور پر اعلی - طاری سے تیار کیا جاتا ہے ، اونچائی - کثافت کا رد عمل - بانڈڈ سلیکن کاربائڈ (آر بی ایس سی) یا کیمیائی بخارات کے جمع شدہ (سی وی ڈی) سلیکن کاربائڈ سیرک مادے کے لئے ، اس کی سطح پر ویکیوم ہولز کی ایک درست صف ہے۔ گرفت). آپریشن کے دوران ، ویکیوم جذب کا استعمال چک کی سطح سے صاف ستھرا اور محفوظ طریقے سے منسلک کرنے کے لئے کیا جاتا ہے ، اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ ویفر لیتھوگرافک نمائش کے عمل کے دوران انتہائی اعلی پوزیشن کے استحکام اور تھرمل استحکام کو برقرار رکھتا ہے۔ اس طرح کے اعلی - اختتامی ایپلی کیشنز کے لئے کلیدی مینوفیکچررز اور سلیکن کاربائڈ سپلائرز میں سینٹ - go گوبین ، کورسٹیک ، مورگن ایڈوانسڈ میٹریلز ، اور کیوسیرا فائن سیرامکس جیسی کمپنیاں شامل ہیں۔

• غیر معمولی تھرمل استحکام: سلیکن کاربائڈ میٹریل میں عمدہ تھرمل چالکتا (تقریبا 100 100-200 W/M · K) موجود ہے ، جس سے تیز رفتار گرمی کی مساوات کو قابل بناتا ہے اور نمائش کی توانائی کی وجہ سے ویفر کی مقامی تھرمل اخترتی کو کم کرتا ہے۔ تھرمل توسیع کا یہ انتہائی کم قابلیت (تقریبا 4.0 × 10⁻⁶ /K) خود سلیکن کے قریب ہے ، جس سے مختلف درجہ حرارت کے تحت ویفر کے ساتھ ہم آہنگی کی خرابی کو یقینی بنایا جاتا ہے اور سیدھ کی درستگی کو برقرار رکھنا۔ سلیکن کاربائڈ کی یہ اعلی خصوصیات اہم ہیں۔
• بقایا سختی اور سختی: ایس آئی سی سیرامک ​​میں ایک اعلی نوجوان کا ماڈیولس اور اعلی سختی ہوتی ہے ، جو ویکیوم ایڈسورپشن فورسز اور مکینیکل بوجھ کے تحت چک باڈی کی کم سے کم خرابی کی ضمانت دیتا ہے ، اس طرح مستحکم ، سخت مدد فراہم کرتا ہے۔ اس سے sintered سلیکن کاربائڈ (SSIC) یا دوبارہ انسٹالائزڈ سلیکن کاربائڈ (RSIC) مثالی انتخاب ہوتا ہے۔
• اعلی فلیٹ پن اور سطح کا معیار: چک کی کام کرنے والی سطح ، جو اکثر الفا سلیکن کاربائڈ یا سی وی ڈی ایس آئی سی سے بنائی جاتی ہے ، جس میں اعلی طہارت کے لئے ، الٹرا - صحت سے متعلق پالش سے گزرتا ہے۔ یہ عام طور پر نانوسکل میں 1 مائکرو میٹر اور مقامی فلیٹنس سے بہتر عالمی سطح پر فلیٹنس حاصل کرتا ہے۔ انتہائی کم سطح کی کھردری (RA 1 نینو میٹر سے نیچے تک پہنچ سکتی ہے) رابطوں کے پیچھے والے حصے کے ساتھ رابطے کے فرق کو کم سے کم کرتی ہے ، جس سے جذب یکسانیت اور حرارت کی کھپت کی کارکردگی میں بہتری آتی ہے۔
• بہترین کیمیائی استحکام اور صفائی ستھرائی: سلیکن کاربائڈ سیرامک ​​تیزاب اور الکالی سنکنرن کے خلاف مزاحم ہے اور ذرہ آلودگی پیدا کرنے کا کم خطرہ ہے۔ اس کی سطح کی خصوصیات کو کوٹنگز (جیسے ، خصوصی SIO₂ یا CVD SIC کوٹنگ) کے ذریعے مزید اصلاح کی جاسکتی ہے ، جس میں سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں الٹرا - اعلی صفائی کے ماحول کی ضروریات کو پورا کیا جاسکتا ہے۔
• کم آؤٹ گاسنگ اور اعلی ویکیوم سالمیت: مواد بہت کم پوروسٹی کے ساتھ گھنے ہے (فلٹرز میں استعمال ہونے والے عام غیر محفوظ سیرامک ​​مواد کے برعکس) ، جس کے نتیجے میں ویکیوم حالات میں کم سے کم آؤٹ گیسنگ ہوتی ہے۔ اس سے مستحکم جذب قوت اور ویکیوم سسٹم کی آپریشنل کارکردگی کو برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔

سلیکن کاربائڈ چکس (یا سیرامک ​​ویکیوم چکس) بنیادی طور پر جدید لتھوگرافی مشینوں کے ویفر مرحلے میں استعمال ہوتے ہیں۔ ان کے بنیادی کام یہ ہیں:

• صحت سے متعلق پوزیشننگ اور تعی .ن: لتھوگرافک نمائش کے دوران ، ویفر کو ویکیوم جذب کے ذریعہ مضبوطی سے جگہ پر رکھا جاتا ہے ، جو کسی بھی مائکروومیومنٹ کو روکتا ہے اور پیٹرن کی منتقلی میں پوزیشن کی درستگی (اوورلی کی درستگی) کو یقینی بناتا ہے۔
• تھرمل مینجمنٹ: نمائش کے ماخذ (خاص طور پر DUV اور EUV لتھوگرافی میں) کے ذریعہ ویفر پر پیدا ہونے والی گرمی کو تیزی سے ختم کرتا ہے ، جو کم سے کم ویفر تھرمل توسیع اور مسخ ہے۔ امیجنگ فوکل طیارے کو کنٹرول کرنے اور اہم جہت کی یکسانیت کو یقینی بنانے کے لئے یہ بہت ضروری ہے۔
• منصوبہ بندی کو برقرار رکھنا: ویفر کے لئے ایک الٹرا - فلیٹ ، مستحکم حوالہ طیارہ فراہم کرتا ہے ، جو خود ویفر کے معمولی وار پیج کی تلافی کرتا ہے۔ یہ یقینی بناتا ہے کہ پورے نمائش کا میدان لتھوگرافی ٹول کے آپٹیکل سسٹم کی توجہ کی زیادہ سے زیادہ گہرائی میں ہے۔
• عمل کی مطابقت: اس کی مستحکم جسمانی اور کیمیائی خصوصیات اس کو لتھوگرافی کے عمل کے اقدامات جیسے صفائی اور بیکنگ سے وابستہ ماحول کا مقابلہ کرنے کی اجازت دیتی ہیں۔

مستقل مزاجی کو یقینی بنانے کے لئے ہم آئی ایس او 9001 کوالٹی مینجمنٹ سسٹم کی سختی سے پیروی کرتے ہیں۔

• 100 ٪ خام مال معائنہ
• اعلی درجے کی گرم ، شہوت انگیز {{0} production پروڈکشن لائنز کو دبانے
• - گھر کی جانچ میں: کثافت ، سختی ، مائکرو اسٹرکچر تجزیہ
• تیسرا - پارٹی سرٹیفیکیشن (ایس جی ایس ، سی ای ، آر او ایچ ایس درخواست پر دستیاب ہے)

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: لتھوگرافی کے سازوسامان کے لئے سلیکن کاربائڈ چکس ، لتھوگرافی کے سازوسامان کے مینوفیکچررز ، سپلائرز ، فیکٹری کے لئے سلیکن کاربائڈ چکس